>
看来要搞的事情,还不少啊。
这就回到了前世在网上互喷的时候,最常见的话题——光刻机。
光刻机是一定要搞的,这是其中最重要的一個工序,没有这个,其他的CVD、PVD、气体扩散、蒸镀、掺杂这些技术都会失去意义。
从原理上来说就是,通过光刻技术,可以实现在指定区域进行掺杂、蚀刻、导线连接、形成工作结构等操作。
严格说来,说“光刻机在硅片上刻出电路”是不对的。光刻本身是刻不出PN结,也形不成电路的,光刻只是为PN结、导线连接、内部元件的按要求产生,提供了一个条件,它刻出的,是电路的雏形,以及提供保护。
就有点点类似我们在对工件喷漆的时候,会用报纸把工件上不需要喷漆的部分保护起来,仅此而已。
但是没有这个保护,结果就好像在没有盖报纸的工件上喷漆,控制得再好,也会喷到不需要的地方去,这工件就废了,更别说在硅片这小的螺蛳壳里做道场了。
不过光刻机这玩意,高振东现在根本就不去想什么紫外、极紫外光刻,浸润光刻,多次曝光这些鸟玩意,整个技术环境根本支撑不了的。
他要搞的,就是用自己亲手做出来的现成的东西——激光光刻,同时光刻制程,他根本就不去想多少纳米,连微米级别都嫌高。
对他来说,甚至只要亚毫米级别的就好,也就是100微米到10微米这个级别,能在1平方厘米的面积上,放下十来个乃至几十个晶体管就行。
可别小看这个密度,已经能做很多事情了,尤其是对于DJS-60D乃至他规划中的二代高性能计算机来说。
而且搞数字电路的都知道,有了合适的数字电路芯片,哪怕没有计算机,也能玩儿出很多花活,用简单的代价,实现很多控制需求了。
对于这个制程精度,随便什么激光,其波长都是足够小了,功率也比较容易实现。
至于极紫外光刻机,那是由于光刻制程小到一定程度的需求,而且功率很难做大,这时候想那玩意完全是做梦呢。
至于亚毫米精度的光刻能不能实现,高振东还是有一定信心的,大不了请相关单位手>> --