只有第二次栅光刻,其他时候的对准要求都不是那么高,这就让手上的技术条件有限,捉襟见肘的高振东感到很舒服。
抛开封装,只是从硅片到布满成品芯片核心(die)的半成品,只需要12步工艺,就这,还包括准备硅片那一步工艺。
甚至不想要钝化那一步的话,只要前4次光刻就足够了,与之相应的工艺也减少到了10步。
这是真的简单,而且对材料的要求也不高。
只需要考虑引入三种元素。
——形成氧化保护层的氧、形成栅极的硼、还有形成金属导线的铝。
其中铝都不用考虑掺杂扩散的问题,只是用于沉积。
某退休老头:真是太好玩儿了.jpg。
而nmos和cmos的难度,可就比pmos大多了,pmos别的不说,至少做逻辑集成电路没问题,而且,这玩意10μm的制程是能做c8008的,其实做更高的制程也没问题。
选定了pmos,高振东很快就把工艺路线给确定下来了。
不要最后一步钝化,4次光刻,只到金属光刻完成为止。
至于为什么选这个,当然是因为简单了,而且他一开始是做比较粗的制程的,这个程度也就够了。
而且,少这一步,成本也会下降。
先把逻辑门电路拿出来,支撑住djs-60d的生产,然后再去搞更好的。
先解决有没有,再解决好不好。
选定了这些,抄起书来,那就快了,高振东花了一个下午飞快的把书抄完,第二天一個电话打给了已经有点儿望眼欲穿的1274厂。
一个多小时过后,吕厂长和鲁总工带着人联袂而至,就等着这一天呢。
看着高振东给出的工艺设计指导文件,两人有点懵,这玩意比起原来的,怎么还变薄了?
先进技术,必定复杂,一旦复杂,那资料就会很厚,大家都这么想。
“高总工,这工艺是先一部分一部分的做,这里是前期我们要做的事情?”鲁总工问道。
高振东一头雾水,我什么时候说过一部分一部分做了:“没有啊,这里就是全部了。”
“全部?”两人大惊失色,这怎么可能?
高振东笑着把工艺的简单概况给他们解释>> --