个高振东只要求5μm的来说，差着几千倍呢。

    工件台总体看起来个头不算小，不是下面一个带导轨的架子上面一个台子那么简单，顶部是工件台系统，中间是隔振系统，底部才是基座，不过后两者严格说来不是工件台的一部分，是光刻机的一部分了。

    “介绍介绍吧，易师傅。”

    这里面，八级钳工易中海无疑是领头的那个，反而没有专业的机械设计人员，主要是厂里没有，所以这个东西，全靠这帮大小师傅的经验来完成了。

    高振东点了名，易中海就指着机器，一点一点的介绍起来，用语平实，有不少他们钳工车工等工种的行内话，高振东还得问一问是什么意思才能完全理解，颇有一点前世看互联网黑话的感觉。

    师傅们对高振东毫不遮掩自己在这方面的短处，大大方方问问题的作风，也是心中认可，对味儿！一个个的都热情解答。

    经过一番沟通，高振东大概明白了这个工件台的基本路线和原理，高振东要求的精度，没超出各位大师傅的能力范围，也没玩别的花活儿或者高科技，差不多就是用机床减速机构实现的精确运动控制。

    减速机构说起来是减速，根子上就是按照一定比例改变运动状态，其实可以用于不同的用途，力矩缩放、尺寸缩放、运动状态缩放等等，都行。

    宏动用的齿轮，微动用了丝杠，三轧厂的大师傅们通过精心的设计，让齿轮组、丝杠等等巧妙配合，实现了对工件台的运动的精确定位。

    在日后不算精确，这个时候可就很精确了。

    对于这个东西，高振东既没有要求运动速度，也没要求定位速度和稳定速度，这让大师傅们做起来需要顾忌和考虑的东西就更少，目标既明确又纯粹。

    那些指标，是自动化生产需要的，但是高振东现在并没有考虑那个，和pcb与焊接不同，ic这个东西整个产业规模暂时还达不到，生产那么快干嘛。

    先解决有没有，参与人员经验多了信心足了，再继续改进就是。

    高振东前世，我国77年搞的接触式和接近式光刻机，也是手动的。

    高振东看着手上的工件台参数表，他这个时候，有一点感受到别人面对他的时候的感觉了。

    那>> --