的。

    高振东和负责机械的同志仔细端详着这个机器，光学所的同志向他们介绍：“这个机器工作波长355nm，光学调制传递函数在理想位置大概是0.63左右，光程差小于四分之一波长，数值孔径0.029，放大倍率1。”

    这些高振东就是真的不懂了，除了355nm的工作波长和放大倍率1之外，其他的他都不清楚：“李工，这意味着什么？”

    李工不以为意，这位毕竟不是搞光学的：“这意味着他的分辨率为9μm。”

    9μm？高振东一下子就炸了，这个分辨率，搭配较小的形变，10μm线宽不是梦啊。

    “李工，那图像的形变情况怎么样？”

    “很小，最大场曲在15μm范围内，最大像散在7μm左右，总体畸变小于1ppm，像面不均匀性小于2%，我想对于你们的要求是完全没有问题的。”李工笑道，对此他也颇为自得。

    这个机器，高振东要求的投影直径是160mm左右，1ppm的畸变，意味着不到1μm，这对高振东的想法来说是完全足够了。

    高振东哈哈大笑：“李工，太谢谢你们了！辛苦辛苦！”

    李工笑道：“能满足你们的要求就好，今天时间也比较晚了，具体的其他事务，我们明天继续怎么样？”

    高振东在兴奋中连连点头：“好，今天就不麻烦同志们了，我们明天再继续。”

    当天晚上，高振东辗转反侧，想了半个晚上。

    第二天一早，高振东带着人，早早的就来到试验室门口，李工已经等在那里了，一行人换好衣服进去。

    高振东进去之后，李工开始张罗着叫人用标准掩膜，进行一遍完整的测试，毕竟他昨天说归说，但是完整的测试流程是要走一遍给高振东他们看的，这算是甲方来验收了。

    试验一边进行，高振东一边拿着整套光学系统的指标在看，他想看看能不能达到自己的想法。

    看着看着，他皱了一下眉头。

    “李工，这套系统的透光率，是30%多？”高振东问道。

    他没好说“只有30%多”这个话，有点儿不太好。

    李工脸上露出了一点儿不好意思的神色：“嗯，355nm这个波长已经进入紫外波长了，透光率天生就比较差，加上材料的原因，就比较难看了。>> --