第525章分辨率10μm
瓷飞厂是下定了决心,肖总远赴京城,但高振东这边的事情,还远远没完。
此时的他,正在拿着防工委发过来的另一位五爷——轰炸机的资料,细细的计算着、考虑着。
他想撬动的可不只是攻-5装雷达这个事情。
就在他算得入神的时候,门被敲响了。
高振东起身开门,门口是易中海和五道口分来的师妹马娟,马娟性格虽然比较直,有些男子的英气,但是心却是很细的,正合适代表分厂的电子实验室跟进一下光刻机的组装事宜。
“高师兄,好消息好消息!”马娟不像伍升远那么一板一眼,在单位也叫高师兄,高振东听得还挺爽。
“光刻机组装好了?”她和易中海一起过来,除了这个不可能有别的。
“嗯嗯嗯,装好了,我们先试了试,各指标完全达标。”
“太好了,走,看看去。”高振东把手上的东西一收,站起身就往光刻机试制车间走。
易中海和马娟跟在后面,马娟笑道:“我们来的意思,就是想请你去主持一下最终的套刻精度试验。”
高振东连连点头:“嗯,要试,要试。走!走!”
其他的指标,可以说易中海带着大师傅们,在马娟的配合下基本上都完成了,这个套刻精度,算是最终的综合检验。
走进光刻机试制车间,透过玻璃看向超净室,展现在高振东面前的是一个像是化学试验室里通风试验橱的东西,或者说是像搞生物的带生物防护的显微装置,别的都看不出干啥的,就是那台显微镜贼显眼。
这台显微镜是用来人工对准和检查用的,主要解决套刻时的对准问题。高振东在掩模上设计了对准标志,但是对准这个操作,在这台光刻机上是人工操作,那台显微镜就是用来干这些事情的。
按说这机器高振东来来去去,改来改去也见过不少次了,可以算是老伙计了,但是这次看见,还是心里泛起了一阵激动。
可算是有结果了,这东西在高振东心里已经不是一台设备,而是一股气。
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