nbsp; 1990年的时候,蔡司6名顶级技工一年只能磨出10套i线光刻镜头。
机器粗磨后,激光测画出镜头表面的起伏图。然后这些在蔡司被称为“金手指”的工匠完全靠手感,一边看着图一边精细地打磨掉高差几十纳米的部分,以达到对称的感觉。
因为缺人,蔡司跑遍全球去找这样的工匠,但是仍远远找不到所需的四十个人。
更糟糕的是,即使是出品的镜头,也是问题不断。
工匠们打磨到完美的镜头,在IBM光刻试验时,仍发现投影图案的扭曲。
经过长达数月的精密测量,镜头本身曲面和设计存在的问题。
最后结论是,镜头玻璃里存在的微小应力可能是图像失真的根本原因。然而,蔡司旗下另一家百年玻璃专家肖特表示,很难把应力降到光刻机需要的这种细微程度。
科技就像大海,想脱离海平面独自提升一步,那是无比艰难。
更多的问题在芯片工厂出现了。
美光公司发现蔡司镜头用一段时间后透光率会显著下降,经过仔细分析发现是极其细微的碳沉积在镜头表面。
这个诡异的问题更是没人可以预料到的。
蔡司的镜头组是用低压氦气密封的,因为这种惰性气体的折射率比空气低六倍。结果最终发现镜头粘接用的胶水里面是含碳的,它在光刻机的高能紫外线催化作用下起了反应。
ASML成立后经历了九死一生,各种问题不断,它几乎10年没赚到钱。
特别是具有远见卓识的ASML创始人DelPrado,在没有犯任何错误的情况下,仍亏损3500万美元,最后卖了股权黯然出局。
可是,ASML的积累真的已经够了,尤其是他们改成了开放式企业之后,现在还没看到效果,因为他们是没钱投入,被逼无奈才改成开放式企业,所以并没有信心,但这正是我们摘桃子的时候。”
夏川讲到最后,悠悠笑了,这世界上没有人知道ASML前面是金光大道,还是无底深渊。
但他却知道。
安娜>> --